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FIS4-High Resolution Four-wave Interferometric Sensor
Wide spectral range (400nm~1100nm)
High resolution of 90,000 phase points
2nm RMS High phase resolution
产品详情
支持宽光谱范围（400nm~1100nm）
FIS4 HR 高分辨率四波干涉传感器 100%国产自研，专为工业、科研、国防便捷干涉测量而开发。300×300（90000）个相位点的高分辨率，400-900nm宽光谱响应，10帧全分辨率实时3D结果显示，为激光光束波前检测、自适应光学、光学系统校准、光学窗口片检测、光学平面面形、球面面形测量、表面粗糙度、表面微观轮廓检测等提供理想的波前传感测量工具。
FIS4 HR采用随机编码四波衍射专利技术实现单路被测波前自干涉，于后端像面位置发生干涉。对光源相干性要求低，无需移相，利用普通成像系统即可实现干涉测量。具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量，相对于微透镜阵列哈特曼传感器具有更多高分辨相位点、适应波段范围更宽、动态范围更大、更优性价比。
主要特点
◆ 100%国产自研
◆ 单路光自干涉，无需参考镜
◆ 宽光谱400nm~900nm波段
◆ 2nm RMS高相位灵敏度
◆ 极强的抗振性能，无需光学隔振
◆ 实现简易快捷的干涉光路搭建
◆ 支持准直光束、大NA会聚光束
产品应用
波长范围 | 400nm~900nm |
靶面尺寸 | 7.07mm×7.07mm |
像元尺寸 | 3.45μm×3.45μm |
空间分辨率 | 23.6μm |
成像像素 | 2048×2048 |
相位输出分辨率 | 300×300（90000点） |
相位分辨率 | ＜2nmRMS |
绝对精度 | 10nmRMS |
动态范围 | 110μm（150λ） |
采样速率 | 24fps |
实时处理速度* | 10Hz（全分辨率下） |
接口类型 | GIGE |
尺寸 | 55mm ´ 55mm ´ 73mm |
重量 | 约30g |
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