激光光束波前检测
近紫外波段光谱（200nm~450nm）
262144个相位点的超高分辨率
绝 对 精度达10nmRMS
激光波前检测技术是评估激光光束相位畸变的重要方法，这些畸变会影响光束的传播和聚焦性能，从而对激光系统的整体性能产生影响。波前检测对于光学系统的设计、测试和性能评估极为关键。通过提升激光光束的质量，波前检测技术能够提高激光加工的精度和效率，特别是在激光切割和焊接等应用中发挥着关键作用。FIS4四波干涉传感器能够直接捕获直射或经过扩束的光束，从而快速地实现激光波前的实时测量。
激光波前检测技术是评估激光光束相位畸变的重要方法，这些畸变会影响光束的传播和聚焦性能，从而对激光系统的整体性能产生影响。波前检测对于光学系统的设计、测试和性能评估极为关键。通过提升激光光束的质量，波前检测技术能够提高激光加工的精度和效率，特别是在激光切割和焊接等应用中发挥着关键作用。FIS4四波干涉传感器能够直接捕获直射或经过扩束的光束，从而快速地实现激光波前的实时测量。
◆ 100%国产自研
◆ 单路光自干涉，无需参考光
◆ 紫外光谱200nm~450nm波段
◆ 2nm RMS高相位灵敏度
◆ 极强的抗振性能，无需光学隔振
◆ 如成像般，简易快捷光路搭建
◆ 支持准直光束、高NA非准直光束
光学系统像差测量、光学系统校准、平面（晶圆）面形测量、光学球面面形测量
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波长范围 |
200nm~450nm |
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靶面尺寸 |
13.3mm×13.3mm |
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像元尺寸 |
6.5μm×6.5μm |
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空间分辨率 |
26μm |
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取样分辨率 |
512×512（262144点） |
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相位分辨率 |
＜2nmRMS |
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绝 对 精 度 |
10nmRMS |
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动态范围 |
89.6μm（256λ） |
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采样速率 |
32fps |
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实时处理速度 |
10Hz |
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接口类型 |
USB3.0 |
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尺寸 |
55mm 55mm 73mm |
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重量 |
约30g |
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